碳化硅微粉是應(yīng)用較早、使用量較大的微粉之一，在目前市場銷售耐火材料用的碳化硅微粉多采用機械粉碎法，其粒徑約為1-5微米之間，而精細陶瓷所用碳化硅微粉制取則主要采取氣相反應(yīng)合成法，該法已有很成熟的工藝，但是，由于傳統(tǒng)的加熱技術(shù)難以控制反應(yīng)氣體分子的時間，近年來又發(fā)展了以激光作為熱源的氣相合成法—激光誘發(fā)氣相化學反應(yīng)法，它不僅使用于碳化硅，同樣也適用于制Si、Si3N4、B、B4C、ZrB2、TiO2、TiB2、Al2O3等微粉。
